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一种测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法制造方法及图纸
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下载一种测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法的技术资料
文档序号:34458633
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本发明提供的一种测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法,属于电子学领域,装置包括测试座、校准组件、密封腔和支撑板,测试座包括底端面开放的屏蔽腔、介质柱、输入耦合结构、输出耦合结构和介质支撑装置,待测介质导体样品与测试座构成TE
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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