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本发明涉及一种用于超流氦制冷机的负压保护模块，所述负压保护模块包括负压保护装置和微正压氦气管路，所述负压保护装置用于将处于所述负压回气路的与压力相关的传感器和/或执行器密封容置保护；所述微正压氦气管路用于向所述负压保护装置和处于负压回气路的...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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