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本发明提出一种降低裂纹的外延方法及外延片。所述外延方法包括如下步骤：提供衬底；在所述衬底表面生长前置层；降温以释放所述前置层中的应力；以及升温后继续形成外延层。本发明通过在缓冲层和外延层中间设置前置层，通过热处理前置层使得前置层在降温过程中...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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