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本发明提供了一种电化学pH检测用薄膜微电极，用于生化电解质中pH值的精准检测。电极采用薄膜化工艺以及共面化的设计，大大降低了微电极的尺寸。工作电极采用电镀或磁控溅射的方法获得0.1～1.5μm的金层，参比电极采用阳极氯化、丝网印刷、化学气相...
该专利属于惠州市钰芯电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠州市钰芯电子材料有限公司授权不得商用。

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