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本发明公开了氮化镓器件及其制备方法。氮化镓器件包括：衬底；缓冲层，缓冲层设置在衬底的一侧；沟道层，沟道层设置在缓冲层远离衬底的表面上；势垒层，势垒层设置在沟道层远离衬底的表面上；第一钝化层；至少两层薄膜场板，至少两层薄膜场板设置在第一钝化层...
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