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本实用新型涉及一种旋转阴极磁控溅射镀膜单元，包括阴极靶材、阴极装配座、两个侧遮蔽板以及数个辅助遮蔽板，阴极靶材外周沿呈圆柱状，阴极靶材长度方向上的两端分别可定轴转动地装配于一个阴极装配座，两个侧遮蔽板相互平行且分别位于阴极靶材在镀膜基材移动...
该专利属于福建新越金属材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建新越金属材料科技有限公司授权不得商用。

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