下载一种硅片分片喷头及插片机的技术资料

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本实用新型提供了一种硅片分片喷头和插片机,硅片分片喷头包括用于固定于插片机上的喷头本体;在喷头本体的长度方向上,喷头本体划分至少两个分区,相邻的两个分区之间不连通;在喷头本体的宽度方向上,喷头本体包括相对的第一表面和第二表面,第一表面上设有...
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