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本实用新型提供一种超高纯气体纯化装置，包括防护箱，支撑柱，密封板，锁紧螺栓，导管，防护壳，安装管，阀门，调节阀，输送管，托板，防护盒，气体净化纯化箱结构，气体降温储存箱结构和气体清洗导流架结构，所述的支撑柱分别螺栓连接在防护箱左右两侧的下部...
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