下载基于C掺杂电流扩展层的GaN基发光二极管及其制备方法的技术资料

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本发明涉及一种基于C掺杂电流扩展层的GaN基发光二极管及其制备方法,方法包括:在蓝宝石衬底层上生长AlN成核层;在AlN成核层上生长U型GaN层;在U型GaN层上生长第一层n型GaN层;在第一层n型GaN层上生长第二层C掺杂GaN层;在第二...
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