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提供一种表面分析装置，基于通过元素映射分析得到的数据来进行利用三元系状态图的简便且通用性高的解析。该装置具备：测定部，其在试样上的多个位置分别获取反映了作为分析对象的三个以上的元素的量的信号；数据处理部，其基于测定部的测定结果来制作关于规定...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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