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一种图形化衬底、图形化衬底的制备方法及LED芯片技术
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下载一种图形化衬底、图形化衬底的制备方法及LED芯片的技术资料
文档序号:34369934
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本发明提供一种图形化衬底、图形化衬底的制备方法及LED芯片,制备方法包括提供一蓝宝石衬底,并在蓝宝石衬底上沉积一层黄光涂胶,同时,制备掩膜版,将掩膜版上的图形转移到黄光涂胶上,得到第一图形化蓝宝石衬底,对第一图形化蓝宝石衬底进行蚀刻,并清洁...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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