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本发明公开了一种基于酸敏性环氧单体的化学放大光刻胶组合物，所述的光刻胶组合物包括：酸敏性聚合物树脂、光敏剂、猝灭剂和溶剂；所述酸敏性聚合物树脂由酸敏性环氧单体在催化剂或引发剂的作用下，通过环氧开环的方式进行聚合反应制备得到。本发明提供的基于...
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