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本发明公开了一种工业废气双腔处理装置，包括药剂桶，药剂桶包括主药剂桶和副药剂桶，主药剂桶和副药剂桶外表面靠近其底部的同侧位置均设置有进气口，主药剂桶和副药剂桶顶部均连接有出气管，主药剂桶的进气口连通有主进气管，副药剂桶的进气口通过气动阀连通...
该专利属于合肥亚笙半导体设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥亚笙半导体设备科技有限公司授权不得商用。

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