下载一种砷化镓基LED芯片透明导电层测试点的制备方法的技术资料

文档序号:34360225

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本发明涉及一种砷化镓基LED芯片透明导电层测试点的制备方法。所述制备方法包括步骤:(1)取在砷化镓衬底上生长有外延结构的晶片;(2)取设置有镂空测试点图形的遮挡膜,将遮挡膜粘附在步骤(1)中的晶片上;(3)将步骤(2)中的晶片进行透明导电层...
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