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本实用新型涉及磷化铟加工技术领域，尤其涉及一种用于磷化铟晶体加工用的抛光装置。其技术方案包括：包括抛光底座、夹持结构、磷化烟晶体、调节螺杆、固定顶板和打磨结构；所述抛光底座的上表面上安装有减震垫，减震垫的上表面安装有夹持结构，夹持结构上安装...
该专利属于山东欧思特新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东欧思特新材料科技有限公司授权不得商用。

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