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本发明涉及perc电池技术领域，具体地说，涉及一种perc电池的扩散退火工艺。其包括以下步骤：将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源，升温，通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中进行饱和工作；将硅片插入至石英舟，并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆...
该专利属于一道新能源科技（衢州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过一道新能源科技（衢州）有限公司授权不得商用。

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