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本实用新型提供了一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，包括第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶，第一吸附桶通过连接管连接第二吸附桶，第一吸附桶上连接第二输气管，应急吸附桶通过第一输气管连接在第二输气管上，应急吸附桶上连接排气管，第二吸附...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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