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一种用于干燥圆盘形基底的设备，包括伸长体(1)，该伸长体(1)向上逐渐变细以形成楔形部(A)，该楔形部(A)具有在两个表面之间的角度α和上边缘，其中该上边缘适合保持该圆盘形基底，其特征在于，该两个表面包括多于一个的孔(2)，每个孔(2)形成...
该专利属于硅电子股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅电子股份公司授权不得商用。

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