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在氮化硅(SiN)波导平台上制成的集成光子光学陀螺仪包括第一直波导，所述第一直波导用于接收入射光并且输出出射光以耦合到光电探测器以提供用于旋转感测的光学信号。陀螺仪包括邻近第一直波导的第一微型谐振器环。光从第一直波导渐逝耦合到第一微型谐振器...
该专利属于阿内洛光电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿内洛光电子公司授权不得商用。

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