下载一种气体分布器的技术资料

文档序号:34310329

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一种气体分布器,包括进气管、环形气体分布管、气体缓冲腔、导气管、布气管,气体缓冲腔与进气管相连,导气管的数量为多个,一端与环形气体分布管连通,另一端与气体缓冲腔连通,布气管的数量为多组,且布气管的组数和导气管的数量相同,一组布气管的数量为一...
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