下载一种用于涂布双面结构的硅片吸附平台的技术资料

文档序号:34305059

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本实用新型公开了一种用于涂布双面结构的硅片吸附平台,包括平台底座,平台底座上设有用于吸附硅片的吸附模块,平台底座上还滑动连接有预涂区模块、收尾模块和两个夹紧模块,预涂区模块、收尾模块和两个夹紧模块分别位于吸附模块的四周;平台底座上还设有废液...
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