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一种基板分割装置,包括机架;治具安装板,用于定位基板;所述治具安装板由设于所述机架上的Y轴位移模组驱动沿Y轴方向移动;切割单元,用于分割基板;所述切割单元位于所述治具安装板的上方并由设于所述机架上的切割单元位移模组驱动沿X轴方向和Z轴方向移...该专利属于苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司授权不得商用。
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一种基板分割装置,包括机架;治具安装板,用于定位基板;所述治具安装板由设于所述机架上的Y轴位移模组驱动沿Y轴方向移动;切割单元,用于分割基板;所述切割单元位于所述治具安装板的上方并由设于所述机架上的切割单元位移模组驱动沿X轴方向和Z轴方向移...