下载一种传递窗装置的技术资料

文档序号:34303681

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本实用新型提供一种传递窗装置,其中,传递窗装置分成第一分区和第二分区,其中,第一分区相当于缓冲间,与物料供应区(B级洁净区)的压差进一步减少,同时第一物料传递单元和第二物料传递单元交替执行物料传递,使得洁净空气外泄量少,压差波动较小,同时节...
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