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本实用新型公开一种自动检测设备,包含:一光学检测模块,所述光学检测模块包含一第一线性致动模块以沿着Z轴方向移动;一光源模块,所述光源模块包含一第二线性致动模块以沿着Z轴方向移动,以及一第一偏摆模块以沿着两个相互正交的光源模块转动轴方向转动;...该专利属于富士能电子(昆山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士能电子(昆山)有限公司授权不得商用。
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