下载一种LED芯片加工方法的技术资料

文档序号:34293403

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本发明公开了一种LED芯片加工方法,涉及芯片加工技术领域,目的在于提升制造的LED芯片的出光效率、减小光强衰弱,包括对晶圆进行预处理,进行表面光刻得到多个阵列分布的台面结构;进行表面切割并对切割产生的划片槽进行热酸腐蚀,得到正面划片后的圆晶...
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