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本实用新型提供了一种高效的硅片载具检测工装，涉及硅片载具检测技术领域，利用定位销和凸台相结合的方式检测硅片载具的定位孔和硅片放置位是否合格，能够实现更高效、更便捷、可靠性更高的硅片载具检测。该检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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