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本实用新型提供一种化学气相沉积设备，包括反应腔体、基片托盘、加热器、加热器支撑件、支撑筒、磁流体密封组件及驱动装置，其中，磁流体密封组件包括内圈轴、中圈轴、外圈轴、第一磁流体与第二磁流体，内圈轴包括一空心导管，中圈轴套设于内圈轴外部，中圈轴...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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