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一种基于金属基底的低压敏感芯片制造技术
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下载一种基于金属基底的低压敏感芯片的技术资料
文档序号:34261651
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本实用新型公开了一种基于金属基底的低压敏感芯片,属于传感器芯片技术领域,该装置包括不锈钢弹性体、不锈钢弹性膜片,所述不锈钢弹性体内部开设有凹孔,凹孔未贯穿不锈钢弹性体,未贯穿处为所述不锈钢弹性膜片,不锈钢弹性膜片与不锈钢弹性体一体化设置,所...
该专利属于湖南启泰传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南启泰传感科技有限公司授权不得商用。
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