温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例公开一种晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质，所述晶圆搬运设备包括晶圆盒、搬运模组、视觉感测模组和控制模组，所述晶圆盒具有容纳晶圆的容纳空间；所述搬运模组用于自所述容纳空间获取或向所述容纳空间放置所述晶圆；所述视觉...
该专利属于深圳市深科达智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市深科达智能装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。