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一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑太赫兹光电探测器及其制备方法技术
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文档序号:34256768
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本发明提供的一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑光电探测器,其特征在于:自下而上依次设置本征高阻硅衬底、二氧化硅层和碲化锑层,在碲化锑层两端是源、漏金属电极,源、漏电极与相应的引线电极相连用于连接外部测试电路。本发明的一种基于蝶形天线结构...
该专利属于国科大杭州高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过国科大杭州高等研究院授权不得商用。
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