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一种串联式气动薄膜执行机构及控制阀制造技术
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文档序号:34223225
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本实用新型公开一种串联式气动薄膜执行机构及控制阀,执行机构的上膜盖和中膜盖形成第一密闭空间,中膜盖和下膜盖形成第二密闭空间,上膜片设置于上托盘上,且上膜片和上托盘均设置于第一密闭空间内,下膜片设置于下托盘上,且下膜片和下托盘均设置于第二密闭...
该专利属于上海源冠自控设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海源冠自控设备有限公司授权不得商用。
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