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一种捡晶机入料区tray盘防反向装置制造方法及图纸
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下载一种捡晶机入料区tray盘防反向装置的技术资料
文档序号:34214980
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本实用新型公开了半导体捡晶设备领域内的一种捡晶机入料区tray盘防反向装置,包括捡晶入料区,所述捡晶入料区包括四根两两对应分布的竖直固定导向柱,tray盘呈矩形,tray盘的任一边角处设置有定位缺口,固定导向柱上均对应tray盘的边角开设有...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。
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