下载一种捡晶机入料区tray盘防反向装置的技术资料

文档序号:34214980

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本实用新型公开了半导体捡晶设备领域内的一种捡晶机入料区tray盘防反向装置,包括捡晶入料区,所述捡晶入料区包括四根两两对应分布的竖直固定导向柱,tray盘呈矩形,tray盘的任一边角处设置有定位缺口,固定导向柱上均对应tray盘的边角开设有...
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