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本实用新型公开了一种光刻板，包括非芯片区以及围绕所述非芯片区设置的芯片区，所述非芯片区分别设于所述光刻板的两侧，所述非芯片区上设有对位标记单元，两个所述对位标记单元沿所述光刻板的其中一条中心轴线对称设置，所述对位标记单元包括并排设置的第一标...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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