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本实用新型适用于纳米涂层技术领域，提供了一种PECVD镀膜设备。该设备包括微波电源、真空装置、加热蒸发装置、气体供应装置以及反应室，其中，反应室设有两个电板，纺织物材料放置在电板之间，通过电板与微波电源电连接，可以在反应室内产生高频电场。本...
该专利属于深圳市技高美纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市技高美纳米科技有限公司授权不得商用。

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