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本发明公开了一种低功耗屏蔽栅半导体功率器件的测试系统，涉及电子技术领域。器件测试模块测量流经外部栅极电阻的总电荷量，计算目标SiC MOSFET器件（以下称目标器件）的栅极泄漏电流；环境测试模块采集目标器件的声发射AE信号，计算目标器件的环...
该专利属于深圳市冠禹半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市冠禹半导体有限公司授权不得商用。

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