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本公开涉及本应用于光栅尺的探测信号处理方法、装置、介质、设备及光栅尺，该方法包括：获取读数头在固定速度的运动状态下采集到的三路干涉信号，三路干涉信号的相位均未知；基于三路干涉信号，确定三路干涉信号的相位差，三路干涉信号包括第一路干涉信号、第...
该专利属于探维科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过探维科技（北京）有限公司授权不得商用。

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