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本公开提供一种微波等离子体火炬产生装置，包括：输入波导，用于输入微波；渐变波导，包括第一渐变波导段和第二渐变波导段，第一渐变波导段和第二渐变波导段用于对微波的功率进行分配得到第一微波和第二微波，其中，第一微波的功率高于第二微波的功率；同轴谐...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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