下载包材垫片及防护装置的技术资料

文档序号:34189653

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本发明实施例提供一种包材垫片及防护装置。该包材垫片包括承载主体以及挡墙,该承载主体上具有一承载面,挡墙设置在该承载面上。当需要对基板进行转移时,将该基板吸附在该承载面上,同时,使该基板的四个边角落于对应的挡墙区域内。当该基板发生侧移时,该挡...
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