下载三线中垂切割硅棒的方法、切割设备及切割系统的技术资料

文档序号:34183917

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本申请实施例提供一种三线中垂切割硅棒的方法、切割设备及切割系统,其中,方法包括:沿着硅棒的长度方向通过三条切割线对硅棒进行一次切割,其中两条切割线平行,切割形成两个平行的第一侧面,分别位于硅棒中心线的两侧;经另一条切割线切割形成的第二侧面与...
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