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蒸镀机内部光电对位装置，涉及真空镀膜技术领域。本发明的蒸镀机内部光电对位装置，其特征在于该对位装置包括外壳、照明系统、半反半透式光路、准直激光器和电源，照明系统设置在外壳上部，半反半透式光路设置在外壳内部，准直激光器水平设置在外壳一端，外壳...
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