温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及利用化学气相沉积领的低压化学气相沉积(LPCVD)法生长高质量异质外延β
...
该专利属于伊尔德兹技术转移有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊尔德兹技术转移有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。