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一种基于光学成像传感的纳米位移测量方法，其装置包括条纹光学元件、同轴照明光源、分光光学元件、光学放大成像单元和光学图形/图像传感器。测量方法包括以下步骤1)将条纹光学元件固定于待测物体上，条纹光学元件上的刻划有微米量级条纹；2)条纹图像光学...
该专利属于上海微钠光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微钠光电科技有限公司授权不得商用。

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