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本发明提供一种提高离子离化率的离子注入方法，属于离子注入技术领域，本发明中阴极弧源组件会产生金属离子以及一些颗粒，其中金属离子在矩形线圈形成的磁场作用下会聚焦及加速，再由离子引出组件牵引通过离子出口，而其中的不带电的粒子沿其本身的速度方向向...
该专利属于上海电子信息职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过上海电子信息职业技术学院授权不得商用。

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