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本实用新型提供了一种加热丝、一种加热器及一种加热组件，所述加热组件包括主加热器和辅助加热器，其中辅助加热器包括一绝缘板，所述绝缘板上方设置一加热丝，加热丝包括加热段和位于加热段两端的接头，所述加热段包括若干互相平行的子加热段和连接两相邻子加...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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