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本发明提供一种可双重预冷的温控设备及温控方法，涉及半导体技术领域，可双重预冷的温控设备包括循环系统和制冷系统，循环系统包括水泵、水箱和电动三通阀，水泵的出液口与负载设备的进液口连通，负载设备的出液口设置有第一温度传感器，负载设备的出液口与电...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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