下载一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法的技术资料

文档序号:34125722

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本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法,包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,...
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