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用于形成量子位的结制造方法技术
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文档序号:34121201
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一种制造用于超导量子位的约瑟夫逊结的方法包括:提供具有表面的子结构(500),在其中限定有彼此垂直的第一沟槽和第二沟槽(306和308)。方法还包括:蒸镀第一超导材料(700)以在第一沟槽中沉积第一超导材料,以及蒸镀第二超导材料(701)以...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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