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本发明提供了一种稳定光悬浮加速度传感器标度因数的方法和装置，它属于光学工程领域和精密测量技术领域。本发明通过测量和分析微粒的位移信息获得微粒的谐振频率，采用高精度计时装置产生参考频率，通过所述谐振频率和参考频率的差值大小，反馈控制捕获激光功...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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