下载一种半导体集成电路专用排片机定位机构的技术资料

文档序号:34094677

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本实用新型涉及排片机技术领域,尤其是指一种半导体集成电路专用排片机定位机构,该装置主要可以实现(1)可拆卸摆放不同形状集成电路板的物料盘,从而可应对不同类型,(2)从现有技术中以机械臂进行抓取的基础上同时增添工作台水平方向和竖直方向的微调移...
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