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本公开提供了一种基于玻璃微结构阵列的光学调制器的制备方法，包括：在硅晶圆上制作硅凹槽阵列；在硅凹槽阵列中致密填充玻璃粉末；高温烧结玻璃粉末，使玻璃粉末软化、回流，冷却后形成玻璃微结构阵列；平坦化玻璃微结构阵列的底面；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐...该专利属于北京智芯微电子科技有限公司国网信息通信产业集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京智芯微电子科技有限公司国网信息通信产业集团有限公司授权不得商用。